【科研】2021年电子显微镜（进口）采购采购公告（二次公告）（ddwk202126）-风云体育

包号

包组名称

主要技术要求

数量

01

扫描电子显微镜系统

1.安装条件

1.1电源电压单相ac100-240v，1.5kva，50/60hz

1.2独立地线接地电阻小于40欧姆

1.3实验室温度15~30℃，湿度≤60%。

2.技术要求

2.1分辨率

★2.1.1 se探头分辨率：3.0nm @ 30kv，wd=5mm15.0nm @ 1kv，wd=5mm

2.1.2bse探头分辨率：4.0nm @ 30kv，wd=5mm，6pa

2.2放大倍数： 5-300,000x（底片倍率），7-800,000x（显示倍率）

2.3电子光学系统

★2.3.1电子枪：预对中钨灯丝

★2.3.2电子枪偏压：全比例自动偏压，ift灯丝状态监控（可显示灯丝剩余寿命状态）

2.3.3加速电压：0.3-30kv

2.3.4电子束对中：2级电磁偏转线圈

2.3.5透镜：3级电磁透镜

2.3.6扫描线圈：2级电磁偏转线圈

★2.3.7物镜光阑：3孔可变物镜光阑

★2.3.8 聚光镜光阑：长内衬管设计，用户可自行更换

★2.3.9电子束偏移：±75μm（wd=10mm）

2.3.10能谱工作条件：wd=10mm，toa=35°

★2.3.11探测器：二次电子探测器，4分割背散射电子探测器（具有成分、阴影、凹凸多种成像模式，可扩展实现3d成像），可变压力探测器uvd。uvd探头可以在高低真空下使用，低真空下观察不导电或含水样品的形貌，高真下可以接收光信号（cl）。

2.4样品台

2.4.1五轴优中心样品台

2.4.2移动范围：x=0-100mm，y=0-50mm，z=5-65mm，t=-20°~90°，r=360°

★ 2.4.3导航视野：直径125mm

2.4.4最大样品尺寸：直径200mm，高度80mm（wd=10mm）

★ 2.4.5相机导航：sem-map，光镜和电镜图片可叠加

2.5真空系统

2.5.1控制方式：全自动气动阀控制

2.5.2真空规：皮拉尼规

2.5.3真空度：1.5x10-3pa

★2.5.4低真空：6-600pa，标配压差光阑，一键切换

2.5.5真空泵：分子泵（260l/s），机械泵（135l/min@50hz，162l/min@60hz）

2.6控制系统

2.6.1电脑：intel(r) core(tm) i3-8100   (3.6ghz, 4core, 6mb, 2400mhz)，16gb ddr-4   sdram(2666mhz, ecc, 8gbx2)，intelhd graphics 630

2.6.2显示器：23寸全高清液晶显示器，分辨率1920x1080

2.6.3操作系统：windows 10 pro（64bit，english）

2.6.4控制方式：轨迹球，旋钮版，鼠标，键盘

★2.6.5非接触报警装置：通过输入的样品尺寸数据，自动避免样品台的危险操作。

2.7图像功能

2.7.1图像显示模式：全屏（1280x960），双屏（640x480，x2）

2.7.2扫描模式：快扫，慢扫（6级），css扫描（6级），reduce扫描（2级）

2.7.3图像捕捉：高分辨捕捉，积分捕捉，css捕捉

2.7.4图像存储像素：640 x 480,1,280 x 960,2,560   x 1,920,5,120 x 3,840

2.7.5图像存储格式：bmp，tiff，jpeg

2.7.6自动调整功能：自动亮度对比度，自动对焦，自动消像散，自动灯丝饱和，自动电子束对中，自动束流对中，自动束流亮度，自动开启

2.7.7信号/图像处理：信号混合，实时图像处理（伽马值，亮度，对比度）

2.7.8其他功能：图像旋转，动态对焦，倾斜补偿，图像叠加，报告导出

2.8 溅射仪：

★2.8.1原装进口，与电镜主机同品牌

2.8.2样品仓大小：硼硅酸盐玻璃工作腔室，100mm（内径）x 125mm（高）；

2.8.3靶面至样品台距离：可调范围为20-50mm，

2.8.4溅射电流和时间：0-40ma， 0~999s

2.8.5溅射速率：（在压力为7pa,放电电流40ma，靶材距离样品30mm时）pt为15nm/min，pt-pd为20nm/min。

2.8.6最大样品尺寸：直径60mm，高度20mm

靶材：根据需要，可选配au，pt，au-pd，pt-pd

真空系统：机械泵，转速为135l/min

主机尺寸和重量：450mm×391mm×390mm，主机重25kg。

2.9样品前处理体式显微镜

2.9.1整机：原装进口研究级电动体视显微镜，电动控制显微镜变倍、聚焦；软件可控制所有电动部件和摄像头，并显示和记录设备所有参数。

2.9.2光学系统：平行光学变焦系统和全复消色差光学系统。

★2.9.3电动变焦主体：变焦比25：1，变焦范围： 0.63x-15.75x， 综合放大倍数6.3x~157.5x。

2.9.4目镜：10倍、双目屈光度可调，三目镜筒为铰链式，眼距可调。

★2.9.5物镜：超高分辨全复消色差apo物镜，采用全复消色差自由校正光路，校正范围横跨380nm-700nm。最大视野∮70mm，分辨率可达1100线/mm。物镜参数同时满足如下要求：1x超高分辨全复消色差apo物镜，数值孔径0.156，工作距离60mm.

★2.9.6电动调焦：调焦行程100mm，从物镜齐焦点开始向上96mm,向下4mm；调焦精度：粗调、微调、极微调三种调焦精度。

2.9.7平板底座及移动载物台：搭配移动载物台，行程：75x50mm。

2.9.8照明冷光源：双支分叉光纤led照明冷光源，可进行任意角度照射。

2.9.9彩色数码摄像装置：专业级1200万像素显数码彩色摄像头，直接与显微镜以国际标准c型接口的方式连接。

★2.9.10控制和图像处理软件：搭配一体化分析控制软件，软件可控制显微镜所有电动部件和摄像头，并显示和记录设备所有参数。ccd控制，图像实时传输、采集，大图拼接，景深叠加，avi动态流拍摄，长度测量，物镜定标，电子标尺，报告模板等功能。

3.附件、备件、特殊工具和消耗品

提供两年以上的备品备件（包括各种保险丝、密封圈、各种光缆、专用工具、样品托、金属抛光膏、导电胶带及预对中灯丝20支）

4.安装服务

4.1安装、调试

厂家免费负责仪器的安装、调试，验收合格。

4.2安装验收合格后，厂家提供一年的免费服务

4.3厂家在中国设有专门的应用中心，3个以上固定维修站，并配有专业维修工程师，保证提供及时优质的风云体育的售后服务，并提供操作人员的免费培训。

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